化合物半導体

GaAsウエハの加工くずや廃棄物の取り扱いで注意が必要な理由として正しいものはどれか。

  1. A放射性物質を含むため
  2. Bヒ素を含むため、有害物質として適切に管理・処理する必要があるため
  3. C空気に触れると爆発するため
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正解:B. ヒ素を含むため、有害物質として適切に管理・処理する必要があるため

GaAsには有害なヒ素が含まれているため、研削や研磨で出る粉じんや廃液、廃棄するウエハは、法令に従って適切に管理・処理する必要があります。作業者がばく露しないよう、局所排気などの対策も行います。

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