Wat is Opbrengst (yield)?

Aandeel goede chips ten opzichte van het aantal gestarte chips. Een maat die de productiekosten van halfgeleiders sterk beïnvloedt.

Japanse benaming: 歩留まり

“Opbrengst (yield)” komt voor in 45 oefenvragen uit 14 onderwerpen, bijv. Opbrengst en kwaliteitsbeheersing, Testen en inspectie, Geavanceerde technologieën (3D-integratie, chiplets).

Chipoppervlak en yield (dezelfde defectposities) Kleine chip ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, Grote chip ,,, ,,,,,,,,,,, Goede chips 18 / 24 (75%) Goede chips 1 / 4 (25%) Defect Defecte chip (bevat een defect)
Chipoppervlak en yield (dezelfde defectposities) · Bekijken in het figurenoverzicht

Vakgebied: Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Nu oefenen: vragen over Opbrengst (yield)

Welke uitspraak over redundantiereparatie, gebruikt om de opbrengst van DRAM te verhogen, is juist?

  1. ARijen of kolommen met defecte cellen worden vervangen door vooraf voorziene reserverijen of reservekolommen
  2. BAlle chips met defecte cellen worden weggegooid
  3. CDe voedingsspanning wordt verhoogd om defecte cellen te laten werken
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Rijen of kolommen met defecte cellen worden vervangen door vooraf voorziene reserverijen of reservekolommen

Het komt zelden voor dat enkele miljarden cellen zonder één defect worden gemaakt, dus DRAM beschikt over reserverijen en reservekolommen. De adressen van bij de wafertest gevonden defecte plaatsen worden vastgelegd in met laser doorgebrande zekeringen of elektrisch te programmeren antifuses, en de toegang wordt omgeleid naar de reserve. Er is ook een mechanisme waarmee na de verpakking nog kan worden gerepareerd (PPR). Zonder deze redundantiereparatie zou de opbrengst van DRAM met grote capaciteit niet haalbaar zijn.

Wat is de juiste betekenis van de sputteropbrengst (sputter yield) bij sputteren?

  1. ADe tijd die de depositie kost
  2. BHet aandeel goede producten per wafer
  3. CHet aantal atomen dat per op het target vallend ion wordt losgeslagen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Het aantal atomen dat per op het target vallend ion wordt losgeslagen

De sputteropbrengst geeft aan hoeveel atomen per op het target botsend ion worden losgeslagen en bedraagt bij argonionen van enkele honderden eV ruwweg 0,5 tot 3. Ze neemt toe bij hogere ionenenergie en zwaardere ionen (met een massa dichter bij die van de atomen van het target), en ook bij schuine inval. Omdat ze sterk per materiaal verschilt, is de depositiesnelheid onder dezelfde omstandigheden per metaal verschillend, en ze hangt ook samen met de snelheid van sputterverwijdering bij etsen.

“Opbrengst (yield)” in de toelichting

Vragen met “Opbrengst (yield)” (45)

  1. Welke uitspraak over redundantiereparatie, gebruikt om de opbrengst van DRAM te verhogen, is juist?
  2. Wat is de juiste betekenis van de sputteropbrengst (sputter yield) bij sputteren?
  3. Uit één wafer worden 500 chips verkregen, waarvan er 450 goed zijn. Hoe groot is de yield van deze wafer?
  4. Wat gebeurt er in het algemeen met de yield wanneer bij gelijke defectdichtheid het chipoppervlak groter wordt?
  5. Hoe groot is de yield bij benadering volgens het Poissonmodel Y = exp(−D × A) bij een defectdichtheid D = 0,1 per cm² en een chipoppervlak A = 1 cm²?
  6. Hoe heet de weergave van hoe de yield in de loop van de tijd verbetert doordat vanaf de opstart van een nieuw proces defectoorzaken worden geanalyseerd en maatregelen worden getroffen?
  7. Een wafer bevat 600 chips en de yield is 80 %. Hoeveel goede chips zijn er?
  8. Hoe groot is bij benadering de totale yield, het product van beide, wanneer de yield van het waferproces 95 % is en die van de wafertest 90 %?
  9. Welke beschrijving van pogingen om de yield te verhogen door in de fabriek opgeslagen grote hoeveelheden apparatuurdata, meetdata en testresultaten met onder meer machine learning te analyseren is juist?
  10. Hoe heet de analyse die uit de productiegeschiedenis van veel loten statistisch de apparatuur, kamers, materialen enzovoort opspoort die gemeenschappelijk zijn gebruikt voor loten met lage yield?
  11. Welke methode simuleert bij het ontwerp van analoge schakelingen telkens opnieuw met willekeurig toegepaste variatie in transistoreigenschappen door productievariatie en schat de verdeling van prestaties en de opbrengst?
  12. Welke uitspraak over micro-LED-displays is juist?
  13. Welk voorbeeld van energy harvesting (energie uit de omgeving) met MEMS is juist?
  14. Wat is het doel van het lasermerk (ID-merk) dat op de voor- of achterzijde van een wafer wordt gegraveerd?
  15. Waarom is de epitaxiale laag belangrijk bij de fabricage van SiC-vermogenscomponenten?

Halfgeleider-rekentools

Verwante termen

Numerieke apertuur (NA) Via Wafertest (probe test) Drempelspanning (threshold voltage) Ionenimplantatie CMP GPU Sputteren Badkuipcurve (bathtub curve) PDK (process design kit)

Naar de woordenlijst