Wat is het doel van het lasermerk (ID-merk) dat op de voor- of achterzijde van een wafer wordt gegraveerd?

Antwoord: C. Elke wafer afzonderlijk identificeren, zodat de procesgeschiedenis kan worden getraceerd

Op de wafer wordt nabij de rand aan de voor- of achterzijde met een laser een uniek nummer (alfanumeriek of een tweedimensionale code) gegraveerd. De apparatuur leest dit om de wafer te identificeren en legt vast op welke apparatuur en onder welke voorwaarden hij is bewerkt en wat de inspectieresultaten waren (traceerbaarheid). Het helpt om bij het vinden van een defect het verantwoordelijke proces of de apparatuur te herleiden, en om in combinatie met positiegegevens binnen de wafer de yield te analyseren.