Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Hoe heet de analyse die uit de productiegeschiedenis van veel loten statistisch de apparatuur, kamers, materialen enzovoort opspoort die gemeenschappelijk zijn gebruikt voor loten met lage yield?

  1. AEquivalentieschakelingsanalyse
  2. BCommonality-analyse (analyse van gemeenschappelijkheid)
  3. CRamanspectroscopie
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Commonality-analyse (analyse van gemeenschappelijkheid)

Bij commonality-analyse worden de productiegeschiedenissen van loten met veel defecten en normale loten vergeleken, en wordt statistisch gezocht naar apparatuur, kamers, materialen, perioden enzovoort die gemeenschappelijk zijn voor de defecte loten. Als bijvoorbeeld 90 % van de defecte loten door dezelfde etskamer is gelopen, is die kamer de eerste verdachte. Het is effectief om uit honderden processen en veel apparaten snel kandidaat-oorzaken af te bakenen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

  1. Welke statistische procesbeheersingsmethode bewaakt meerdere onderling gecorreleerde kenmerkwaarden niet afzonderlijk maar gezamenlijk, en detecteert afwijkingen als combinatie?
  2. Hoe heet het afstellen en beheren van meerdere apparaten van hetzelfde type, zodat de verschillen in bewerkingsresultaat tussen apparaten of kamers klein worden?
  3. Uit één wafer worden 500 chips verkregen, waarvan er 450 goed zijn. Hoe groot is de yield van deze wafer?
  4. Wat gebeurt er in het algemeen met de yield wanneer bij gelijke defectdichtheid het chipoppervlak groter wordt?
  5. Hoe worden de regelgrenzen in een regelkaart (Shewhart-regelkaart) voor procesbeheersing in het algemeen vastgesteld?