Mélange d'acide chlorhydrique, de peroxyde d'hydrogène et d'eau. Utilisé après le SC-1 dans le nettoyage RCA pour éliminer la contamination métallique.
Nom japonais: SC-2(HPM)
« SC-2 (HPM) » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont CMP et nettoyage.
Domaine: CMP et nettoyage
Réponse : A. Le SC-1 élimine les particules et les composés organiques, puis le SC-2 élimine la contamination métallique
Le nettoyage RCA, publié en 1970 par Kern et ses collègues de la société RCA, élimine d'abord les particules et les composés organiques par le SC-1 alcalin, puis, par le SC-2 acide (HCl:H2O2:H2O), la contamination métallique qui tend à se déposer lors du SC-1, en la dissolvant sous forme de chlorures ; c'est l'ordre de base. Au besoin, un passage à l'acide fluorhydrique dilué retire l'oxyde entre les deux, et chaque étape est suivie d'un rinçage à l'eau ultrapure. Plus de 50 ans après, il reste, avec des améliorations, la base du nettoyage.
Le nettoyage RCA, publié en 1970 par Kern et ses collègues de la société RCA, élimine d'abord les particules et les composés organiques par le SC-1 alcalin, puis, par le SC-2 acide (HCl:H2O2:H2O), la contamination métallique qui tend à se déposer lors du SC-1, en la dissolvant sous forme de chlorures ; c'est l'ordre de base.
Quelle combinaison d'ordre et d'objectifs du SC-1 et du SC-…La contamination métallique s'élimine par le SC-2, l'oxyde natif par l'acide fluorhydrique dilué.
Quel est le principal objectif du SC-1 (mélange ammoniaque-…Les composés organiques et les particules s'éliminent par le SC-1, la contamination métallique par le SC-2.
Quel est le principal objectif du nettoyage à l'acide fluor…On les élimine en combinant des produits adaptés (SC-1, SC-2, SPM, acide fluorhydrique dilué, etc.) et des forces physiques (brosses, mégasons), tout en devant ne pas endommager les matériaux.
Quelle combinaison de types de contamination de surface des…SC-1 (APM) Acide fluorhydrique dilué (DHF) Oxyde natif Nettoyage RCA Eau ultrapure Croissance épitaxiale Siliciure SPM (mélange acide sulfurique-eau oxygénée) Cérine (oxyde de cérium) CMP