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CMP et nettoyage

Quelle combinaison d'ordre et d'objectifs du SC-1 et du SC-2 dans le nettoyage RCA standard est correcte ?

  1. ALe SC-1 élimine les particules et les composés organiques, puis le SC-2 élimine la contamination métallique
  2. BLe SC-2 élimine les particules, puis le SC-1 élimine la contamination métallique
  3. CLe SC-1 et le SC-2 sont mélangés et utilisés simultanément
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Réponse : A. Le SC-1 élimine les particules et les composés organiques, puis le SC-2 élimine la contamination métallique

Le nettoyage RCA, publié en 1970 par Kern et ses collègues de la société RCA, élimine d'abord les particules et les composés organiques par le SC-1 alcalin, puis, par le SC-2 acide (HCl:H2O2:H2O), la contamination métallique qui tend à se déposer lors du SC-1, en la dissolvant sous forme de chlorures ; c'est l'ordre de base. Au besoin, un passage à l'acide fluorhydrique dilué retire l'oxyde entre les deux, et chaque étape est suivie d'un rinçage à l'eau ultrapure. Plus de 50 ans après, il reste, avec des améliorations, la base du nettoyage.

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