Mélange d'acide sulfurique et de peroxyde d'hydrogène. Son fort pouvoir oxydant élimine les matières organiques comme la résine.
Nom japonais: SPM(硫酸過水)
« SPM (mélange acide sulfurique-eau oxygénée) » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont CMP et nettoyage.
Domaine: CMP et nettoyage
Réponse : A. Éliminer les composés organiques comme la résine
Le SPM (H2SO4:H2O2, par exemple 4:1, vers 120 à 150 ℃) décompose et élimine les composés organiques comme les résidus de résine grâce au fort pouvoir oxydant de l'acide peroxomonosulfurique (acide de Caro) formé au mélange. Il sert au nettoyage après incinération (ashing) et au retrait de résine après implantation ionique ; si réactif qu'on l'appelle aussi « solution piranha », il exige des précautions de manipulation. Sa forte consommation d'acide sulfurique pousse à le remplacer par l'eau ozonée ou d'autres solutions.
Réponse : A. Des ions sulfate, etc. restent en surface et causent ensuite un voile (haze) ou des défauts
L'acide sulfurique, visqueux, s'adsorbe facilement en surface ; un rinçage insuffisant laisse des ions sulfate qui réagissent avec l'ammoniac de l'air et précipitent en microcristaux de sulfate d'ammonium, provoquant un voile (haze) ou des défauts. Sur les masques d'exposition, ce phénomène a aussi été à l'origine de défauts croissants (haze) réduisant la transmittance. On effectue donc un rinçage suffisant à l'eau chaude ou l'on remplace le nettoyage par des procédés sans acide sulfurique.
Le SPM (H2SO4:H2O2, par exemple 4:1, vers 120 à 150 ℃) décompose et élimine les composés organiques comme les résidus de résine grâce au fort pouvoir oxydant de l'acide peroxomonosulfurique (acide de Caro) formé au mélange.
Quel est le principal objectif du nettoyage par mélange aci…Se décomposant en oxygène après usage, elle facilite le traitement des effluents ; elle est utilisée comme nettoyage à faible impact environnemental, réduisant la consommation de produits et les émissions de CO2 par rapport au SPM, gros consommateur d'acide sulfurique et de peroxyde d'hydrogène.
Quel est le principal objectif de l'utilisation d'eau ultra…On les élimine en combinant des produits adaptés (SC-1, SC-2, SPM, acide fluorhydrique dilué, etc.) et des forces physiques (brosses, mégasons), tout en devant ne pas endommager les matériaux.
Quelle combinaison de types de contamination de surface des…Acide fluorhydrique dilué (DHF) Décapage plasma (ashing) Implantation ionique Eau ultrapure Oxyde natif SC-1 (APM) SC-2 (HPM) Cérine (oxyde de cérium) CMP Conditionnement du tampon (pad conditioning)