CMP et nettoyage
Quel est le principal objectif du SC-1 (mélange ammoniaque-peroxyde d'hydrogène) utilisé dans le nettoyage RCA ?
- AÉliminer la contamination métallique
- BÉliminer les particules et les composés organiques
- CÉliminer l'oxyde natif
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Réponse : B. Éliminer les particules et les composés organiques
Le SC-1 (NH4OH:H2O2:H2O, par exemple 1:1:5, vers 70 ℃) oxyde la surface par le peroxyde d'hydrogène tout en dissolvant lentement cet oxyde par l'ammoniaque, à environ 0,1 à 1 nm par minute ; les particules sont ainsi soulevées par-dessous et éliminées. En milieu alcalin, particules et surface sont toutes deux chargées négativement et se repoussent, ce qui limite aussi la redéposition. Il est également efficace contre les composés organiques. La contamination métallique s'élimine par le SC-2, l'oxyde natif par l'acide fluorhydrique dilué.