Qu'est-ce que MEB (SEM, microscope électronique à balayage) ?

Microscope qui balaie la surface de l'échantillon avec un faisceau d'électrons focalisé et détecte notamment les électrons secondaires émis pour observer la topographie. Il permet d'observer des structures de quelques nm, invisibles au microscope optique.

Nom japonais: SEM(走査電子顕微鏡)

Domaine: Métrologie et analyse

Comparatifs incluant ce terme

Termes associés

AFM (microscope à force atomique) CD-SEM DRX (XRD, diffraction des rayons X) EDX (spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie) Ellipsométrie Équipement d'inspection des défauts FIB (faisceau d'ions focalisé) Méthode des quatre pointes SIMS (spectrométrie de masse des ions secondaires) TEM (microscope électronique en transmission)

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