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Métrologie et analyse

Quelle méthode d’analyse évapore par champ électrique, un par un, les atomes de la pointe d’un échantillon usiné en aiguille et détecte leur position et leur nature pour étudier la répartition 3D des atomes, notamment des dopants ?

  1. ATomographie par sonde atomique
  2. BMicroscope optique
  3. CMicroscope acoustique
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Réponse : A. Tomographie par sonde atomique

En sonde atomique, un échantillon dont l’extrémité a été usinée au FIB en aiguille d’environ 100 nm reçoit une haute tension et des impulsions qui arrachent un par un, sous forme d’ions, les atomes de la pointe. La position d’arrivée sur le détecteur donne la position d’origine, le temps de vol la masse (nature de l’élément), et l’on reconstruit la répartition 3D des atomes. On étudie ainsi à l’échelle atomique la répartition des dopants dans un transistor, mais l’efficacité de détection n’atteint pas 100%.

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