Qu'est-ce que Équipement d'inspection des défauts ?

Équipement qui détecte les particules et défauts de motifs sur la plaquette. Il existe des méthodes détectant la lumière diffusée sous éclairement et d'autres comparant les images de puces voisines.

Nom japonais: 欠陥検査装置

Domaine: Métrologie et analyse