Was ist FIB (fokussierter Ionenstrahl)?
Gerät, das mit einem fein fokussierten Ionenstrahl Material abträgt oder abscheidet. Es dient zum Anfertigen von Querschnitten winziger Bereiche, zur Präparation dünner TEM-Proben und zur Schaltungsänderung.
Japanische Bezeichnung: FIB(集束イオンビーム)
Fachgebiet: Messtechnik und Analyse