氧化與擴散
矽的乾式熱氧化中發生的化學反應，下列何者正確？
- ASi + O2 → SiO2
- BSi + N2 → SiN
- CSiO2 + H2 → Si + H2O
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正確答案：A. Si + O2 → SiO2
在乾式氧化中，矽與氧在高溫下反應生成二氧化矽（Si + O2 → SiO2）。濕式氧化使用水蒸氣，發生 Si + 2H2O → SiO2 + 2H2 的反應，產生的氫有一部分殘留在膜中，因此濕式氧化層的密度略低。無論哪一種，氧化劑都在膜中擴散並於介面反應，一邊消耗矽一邊使膜成長。
- A. 正確。矽與氧生成 SiO2。
- B. 與氮反應不會形成氧化層。
- C. 這是將氧化層還原的逆向反應，不是氧化。