氧化與擴散 提高熱氧化的溫度後，相同時間內所得到的氧化層厚度會如何？ A變厚 B變薄 C不變 查看答案與解析 正確答案：A. 變厚 熱氧化的速率，無論是介面的反應速率，還是氧化劑在氧化層中的擴散，都會隨溫度升高而呈指數函數加快。例如濕式氧化 1 小時所得的厚度，在 900 ℃ 約為 200 nm，在 1100 ℃ 約為 700 nm，差異很大。要在短時間內製作厚膜時會使用高溫濕式氧化；而薄的閘極氧化層為了精密控制膜厚，則以低溫或乾式氧化花時間製作。