ウェット酸化란?

うぇっとさんか

水蒸気を含む雰囲気で行う熱酸化。ドライ酸化より成長が速く、厚い酸化膜をつくるのに使われる。

일본어 명칭: ウェット酸化

분야: 산화와 확산