真空蒸着란?
しんくうじょうちゃく
真空中で材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させて膜をつくる方法。電子ビームで加熱すれば高融点の材料も扱えるが、段差被覆性は低い。
일본어 명칭: 真空蒸着
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS
しんくうじょうちゃく
真空中で材料を加熱して蒸発させ、基板に付着させて膜をつくる方法。電子ビームで加熱すれば高融点の材料も扱えるが、段差被覆性は低い。
일본어 명칭: 真空蒸着
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS