蝕刻等設備的內壁狀態一旦改變，加工結果就會變動，因此在處理產品之前先處理假晶圓以穩定狀態。
日文名稱: シーズニング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻
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