シーズニング란?
しーずにんぐ
エッチングなどの装置の内壁の状態が変わると加工結果が変動するため、製品の前にダミーウエハを処理して状態を安定させること。
일본어 명칭: シーズニング
분야: 식각
しーずにんぐ
エッチングなどの装置の内壁の状態が変わると加工結果が変動するため、製品の前にダミーウエハを処理して状態を安定させること。
일본어 명칭: シーズニング
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング