シーズニングとは
しーずにんぐ
エッチングなどの装置の内壁の状態が変わると加工結果が変動するため、製品の前にダミーウエハを処理して状態を安定させること。
この用語の分野: エッチング
解説の中の「シーズニング」
クリーニングや部品交換の直後などに、ダミーウエハを処理して内壁に一定の膜をつけて状態を整え、加工結果を安定させる作業がシーズニングです。
エッチング装置の内壁の状態が変わると加工結果が変動するため、製品の前にダミーウエハを処理して状態を安定させることを何と…
「シーズニング」が出てくる問題(1問)
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