蝕刻 蝕刻設備內壁的狀態改變會使加工結果變動，因此在處理產品之前先處理假晶圓以穩定狀態，這稱為什麼？ A腔體調適（seasoning） B灰化 C沉積 查看答案與解析 正確答案：A. 腔體調適（seasoning） 蝕刻設備的內壁會附著反應生成物，隨著其狀態不同，自由基在壁上損失的比例等也會改變，使電漿的組成與加工結果產生變動。在清潔或零件更換之後等時機，處理假晶圓以在內壁附上一定的膜、調整狀態，使加工結果穩定的作業就是腔體調適。近年來也採用在每次處理前將壁面重置為相同狀態的方法。