什麼是RTP(快速熱處理)

正確答案：B. DZ(無缺陷層)

以1100 ℃以上的高溫進行熱處理，使表面附近的氧向外擴散，表面就會形成數十µm沒有氧析出物的無缺陷層(DZ：Denuded Zone)。之後若以低溫、中溫熱處理在內部形成析出物，就成為吸附層。這是元件製作在無缺陷的表面，而金屬汙染在內部被捕捉的結構。近年也使用在氫或氬氣中退火，或以快速熱處理做出這種結構的晶圓。

正確答案：A. 直立式熱處理爐（擴散爐）

熱氧化、擴散與退火常使用直立式熱處理爐：將約 100 片晶圓垂直堆疊在石英反應管中加熱。管內溫度均勻，一次可處理大量晶圓，且晶圓由下方進出，也能減少捲入大氣。代表性的製造商有 Tokyo Electron 與 Kokusai Electric 等。若需要數秒的短時間熱處理，則使用以燈管逐片加熱的 RTP 設備。