RTP(急速熱処理)란?
あーるてぃーぴー
ランプなどでウエハを1枚ずつ、数秒程度の短時間で高温に加熱する熱処理。不純物の余分な拡散を抑えながら、アニールや薄い酸化膜の形成ができる。
일본어 명칭: RTP(急速熱処理)
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化
あーるてぃーぴー
ランプなどでウエハを1枚ずつ、数秒程度の短時間で高温に加熱する熱処理。不純物の余分な拡散を抑えながら、アニールや薄い酸化膜の形成ができる。
일본어 명칭: RTP(急速熱処理)
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化