什麼是DZ(無缺陷區)
透過熱處理使表面附近的氧向外擴散，在晶圓表面形成的氧析出物等缺陷較少的層。元件製作在此層，內部的析出物則用於吸附雜質。
日文名稱: DZ(無欠陥層)
「DZ(無缺陷區)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
練習DZ(無缺陷區)的題目
對晶圓進行熱處理，使表面附近的氧向外擴散，在要製作元件的表面形成缺陷少的層。這一層稱為什麼？
- A埋入氧化膜(BOX層)
- BDZ(無缺陷層)
- CLDD
解析中的「DZ(無缺陷區)」
以1100 ℃以上的高溫進行熱處理，使表面附近的氧向外擴散，表面就會形成數十µm沒有氧析出物的無缺陷層(DZ：Denuded Zone)。
對晶圓進行熱處理，使表面附近的氧向外擴散，在要製作元件的表面形成缺陷少的層。這一層稱為什麼？
出現「DZ(無缺陷區)」的題目（1題）
相關名詞
氧析出物(BMD) 退火 RTP(快速熱處理) 西門子法 吸附雜質技術(Gettering) 偏析係數 晶格滑移 晶棒 晶圓缺口(Notch) 晶體方向