氧化與擴散 要一次對大量晶圓進行熱氧化時，通常使用何種設備？ A直立式熱處理爐（擴散爐） B離子佈植機 CCMP 設備 查看答案與解析 正確答案：A. 直立式熱處理爐（擴散爐） 熱氧化、擴散與退火常使用直立式熱處理爐：將約 100 片晶圓垂直堆疊在石英反應管中加熱。管內溫度均勻，一次可處理大量晶圓，且晶圓由下方進出，也能減少捲入大氣。代表性的製造商有 Tokyo Electron 與 Kokusai Electric 等。若需要數秒的短時間熱處理，則使用以燈管逐片加熱的 RTP 設備。