RCA洗浄란?
あーるしーえーせんじょう
SC-1(アンモニア・過酸化水素水)でパーティクルや有機物を、SC-2(塩酸・過酸化水素水)で金属汚染を除去する洗浄法。
일본어 명칭: RCA洗浄
분야: CMP와 세정
관련 용어
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー セリア(酸化セリウム)
あーるしーえーせんじょう
SC-1(アンモニア・過酸化水素水)でパーティクルや有機物を、SC-2(塩酸・過酸化水素水)で金属汚染を除去する洗浄法。
일본어 명칭: RCA洗浄
분야: CMP와 세정
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー セリア(酸化セリウム)