橢圓偏振術（光譜橢偏儀）主要量測的是下列何者？

正確答案：B. 由反射光偏振狀態的變化求得的薄膜膜厚與折射率

橢圓偏振術是將偏振光斜向照射，量測反射光p偏振與s偏振的振幅比（Ψ）與相位差（Δ），再與以光學模型計算出的值擬合，求出薄膜的膜厚與折射率。改變波長來量測的光譜橢偏儀也能分析多層膜，可得到0.1 nm以下的再現性。由於是非接觸、非破壞，廣泛用於氧化膜等的膜厚管理。電阻與質譜並非其量測對象。