バッファードフッ酸(BHF)란?
ばっふぁーどふっさん
フッ酸をフッ化アンモニウムで緩衝した薬液。SiO2のウェットエッチングに使われ、エッチング速度が安定し、レジストへのダメージも少ない。
일본어 명칭: バッファードフッ酸(BHF)
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング
ばっふぁーどふっさん
フッ酸をフッ化アンモニウムで緩衝した薬液。SiO2のウェットエッチングに使われ、エッチング速度が安定し、レジストへのダメージも少ない。
일본어 명칭: バッファードフッ酸(BHF)
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比 アッシング