製程整合工程師

把眾多製程站點串接起來,組成讓元件整體能如預期運作的製造流程的工程師,在新世代製程與新產品導入時扮演核心角色。

工作內容

半導體製造是由薄膜沉積、微影、蝕刻、離子佈植等站點反覆多次組成的漫長流程。製程整合工程師負責設計整個流程,並確保各站點組合起來時,元件能達到目標的特性與良率。改變某一站點的條件,會影響前後站點與電性結果,因此需要從整體出發,決定最佳的組合。在導入新世代製程或新產品時,要訂定站點順序與目標值,評估試作結果,把製程推進到可以轉入量產的狀態。

合作對象與處理的事物

這個職務常居於各站點的製程工程師、打造特性的元件工程師、良率與品質工程師以及設計部門之間,扮演協調者的角色。處理的事物包括:記載站點順序與條件的製程流程(process flow)、做在晶圓上的評估用測試結構及其電性量測結果、剖面觀察影像、良率數據等。也可能參與交給設計人員的設計規則與 PDK(製程設計套件)的內容。量產開始後,若良率或特性的問題橫跨多個站點,也由他們統籌解決。

需要的知識與技能

比起深入鑽研單一站點,更需要廣泛理解所有站點的原理以及彼此如何串接。基本要求是能在腦中描繪從 STI(淺溝槽隔離)到電晶體、矽化物、導線的剖面結構。此外,還需要能從電性量測結果推斷可能出問題的站點。由於要整合眾多部門的意見並做出判斷,以根據進行邏輯說明、排定優先順序的協調能力也很重要。

從哪裡開始學

先透過「完整掌握製造製程」課程,依序學習前段製程的各領域。特別是「微影」「蝕刻」「薄膜沉積(CVD與PVD)」「離子佈植」「配線製程」,是建構製程流程不可缺少的基礎。製程如何影響元件特性,可在「MOSFET」與「先進電晶體(FinFET與GAA)」領域,或「深入了解元件」課程中學習。最後在「良率與品質管理」領域,掌握邁向量產的評估觀念。

應學習的領域

先進電晶體(FinFET與GAA) 54題 MOSFET 50題 微影 52題 蝕刻 50題 薄膜沉積(CVD與PVD) 50題 離子佈植 50題 配線製程 51題 良率與品質管理 50題

這個職務的基礎10題

從應學習的領域中選出10道基本題

這個職務的基礎10題 →

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常見術語

STI(淺溝槽隔離) High-k/金屬閘極 後閘極製程(取代式金屬閘極) 矽化物 MOL(中段製程) 雙鑲嵌製程 製程窗口 四點探針法 PDK(製程設計套件) DTCO(設計與技術協同最佳化) 系統性缺陷 良率

常見問題

非理工背景或沒有經驗,可以成為製程整合工程師嗎?

這個職務同時運用整體製程與元件的知識,因此一般多以理工背景為前提。有些人是在擔任製程工程師或元件工程師後,運用經驗轉任;也有人是應屆畢業就被分派到這個職務,做法依公司而不同。無論哪種情況,起點都是大致理解各站點的原理與電晶體的結構。

和製程工程師有什麼不同?

製程工程師負責特定站點的條件與結果,深入鑽研該站點。製程整合工程師則負責站點組合的整體,以及最終的元件特性與良率。例如,由製程整合決定某個尺寸的目標值,再由製程工程師開發達成該尺寸的條件,可能是一種分工方式,但界線依公司而不同。

需要什麼證照嗎?

一般來說,沒有必備的執照或證照。重視的是對製程與元件的廣泛知識、從數據推斷原因的能力,以及與眾多部門協調的能力。學生時期若能接觸半導體製程或元件相關的實驗與研究,會更容易想像實際的工作。

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