クリーンルーム・製造装置

クリーンルームで、空気中にイオンを供給してウエハや装置の帯電を中和する装置はどれか。

  1. AULPAフィルタ
  2. Bイオナイザ(除電装置)
  3. Cスクラバー
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正解：B. イオナイザ(除電装置)

乾燥したクリーンルームでは静電気が発生しやすく、帯電したウエハはパーティクルを引き寄せたり、静電気放電でデバイスを損傷したりします。イオナイザは正と負のイオンを供給して帯電を中和し、これらの問題を防ぎます。

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