製造装置の前面で、FOUPのふたを開け、ウエハを清浄な環境のまま装置内に搬送するユニットはどれか。

正解：C. EFEM(ロードポートや搬送ロボットを含む装置前面のモジュール)

EFEM(Equipment Front End Module)は、FOUPを置くロードポート、ふたを開ける機構、ウエハを取り出して装置内へ運ぶロボットなどを、清浄な空間に収めたモジュールです。ウエハを外気にさらさずに装置とFOUPの間でやり取りできます。