スリップとは
すりっぷ
大口径のウエハを高温で熱処理するとき、面内の温度差や自重による応力で結晶面がずれ、転位が入る欠陥。リソグラフィの重ね合わせ不良などの原因になる。
この用語の分野: シリコンウエハ
解説の中の「スリップ」
高温ではシリコンの強度が大きく下がるため、急な加熱・冷却によるウエハ内の温度差や、支持部分にかかる自重による応力で、結晶面({111}面)がすべって転位(スリップ)が生じます。
大口径のウエハを高温で熱処理するときに問題となる「スリップ」の原因として正しいものはどれか。そのため酸素を含むCZウエハは、酸素の少ないFZウエハより熱処理中のスリップや反りに強い傾向があります。
CZシリコンに含まれる格子間酸素が、FZシリコンに比べてウエハの機械的強度に与える影響として正しいものはどれか。
「スリップ」が出てくる問題(2問)
関連する用語
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