CZシリコンに含まれる格子間酸素が、FZシリコンに比べてウエハの機械的強度に与える影響として正しいものはどれか。

正解：C. 酸素が転位を固着して動きにくくするため、熱処理中のスリップに強くなる

格子間酸素は転位の周りに集まって転位を固着し、動きにくくします。そのため酸素を含むCZウエハは、酸素の少ないFZウエハより熱処理中のスリップや反りに強い傾向があります。これも大口径のLSI用にCZウエハが使われる理由の一つです。

• A. 格子間酸素はむしろ強度を高める方向に働きます。
• B. 機械的強度に影響します。
• C. 正しい。転位を固着してスリップを起こりにくくします。