スリップ란?

すりっぷ

大口径のウエハを高温で熱処理するとき、面内の温度差や自重による応力で結晶面がずれ、転位が入る欠陥。リソグラフィの重ね合わせ不良などの原因になる。

일본어 명칭: スリップ

분야: 실리콘 웨이퍼