陽極接合とは
ようきょくせつごう
シリコンとナトリウムを含むガラスを重ね、加熱しながら電圧をかけて接合する方法。MEMSの封止などに使われる。
この用語の分野: MEMS・センサ
解説の中の「陽極接合」
陽極接合では、ナトリウムを含むホウケイ酸ガラス(パイレックスなど)とシリコンを重ねて300〜450 ℃に加熱し、ガラス側を負にして数百〜1000 V程度の電圧をかけます。
MEMSの封止などで、シリコンとガラスを加熱しながら電圧をかけて接合する方法を何と呼ぶか。
「陽極接合」が出てくる問題(1問)
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