犠牲層エッチング란?

ぎせいそうえっちんぐ

構造の下に一時的に置いた層(犠牲層)をエッチングで取り除き、動ける梁や膜を浮かせる、MEMSの代表的な加工法。

일본어 명칭: 犠牲層エッチング

분야: MEMS와 센서

관련 용어

加速度センサー陽極接合静電容量検出 MEMS コリオリ力ジャイロスコープスティクションピエゾ抵抗効果ホール素子ボッシュプロセス(Deep RIE)

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