オーバーエッチング란?

おーばーえっちんぐ

終点を検出したあと、ウエハ全面で膜を確実に除去するため、さらに一定時間エッチングを続けること。下地との選択比が高い条件で行う。

일본어 명칭: オーバーエッチング

분야: 식각