エッチング エッチングの終点を検出したあと、ウエハ全面で膜を確実に除去するために、さらに一定時間エッチングを続けることを何と呼ぶか。 Aオーバーエッチング Bアッシング Cデポジション 答えと解説を見る 正解：A. オーバーエッチング ウエハ面内のエッチング速度のばらつきや膜厚のばらつきがあるため、終点を検出した時点でも一部に膜が残っていることがあります。そこで一定時間オーバーエッチングを行い、確実に除去します。その間に下地が削られすぎないよう、高い選択比が求められます。