クリーンルーム・製造装置

300 mmウエハの工場で、FOUPを天井のレールに沿って装置間で自動搬送するシステムはどれか。

  1. A人手による台車搬送
  2. Bベルトコンベアのみによる搬送
  3. COHT(天井走行式無人搬送車)
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正解：C. OHT(天井走行式無人搬送車)

300 mmウエハを25枚入れたFOUPは重いため、人手での搬送は負担が大きく、発塵や落下の危険もあります。OHTは天井のレールを走る搬送車で、FOUPを吊り下げて装置のロードポートまで自動で運びます。工場全体の自動搬送システム(AMHS)の中心となる設備です。

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