仕切りの少ない大きな部屋の中に製造装置を並べ、FOUPなどの密閉容器とミニエンバイロメントでウエハの清浄度を確保するクリーンルームの方式はどれか。

正解：C. ボールルーム(大部屋)方式

ボールルーム方式は、壁で細かく仕切らずに大きな空間に装置を並べる方式です。ウエハは密閉容器と装置のミニエンバイロメントで守られるため、部屋全体の清浄度をそこまで高くしなくて済み、装置の配置換えもしやすくなります。300 mmの工場で広く採用されています。

• A. ベイ・チェイス方式は作業エリアと保守エリアを壁で分ける方式です。
• B. トンネル方式は清浄なトンネル状の区域に装置を並べる古い方式です。
• C. 正しい。大きな空間に装置を並べる方式です。