クリーンルーム・製造装置

半導体工場の自動搬送システムで、次の工程に進むまでのFOUPを一時的に保管する自動倉庫はどれか。

  1. Aストッカ
  2. BEFEM
  3. Cエアシャワー
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正解：A. ストッカ

ストッカは、ロボットがFOUPを出し入れする棚を備えた自動倉庫で、装置が空くのを待つFOUPなどを一時的に保管します。OHTなどの搬送システムとつながり、生産管理システムの指示で必要なFOUPを払い出します。

  • A. 正しい。FOUPを一時保管する自動倉庫です。
  • B. EFEMは装置前面でウエハを受け渡すモジュールです。
  • C. エアシャワーは入室時に衣服のほこりを落とす設備です。
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