クリーンルーム・製造装置
ベイ方式の工場の自動搬送で、ベイとベイの間の搬送と、ベイの中で装置間を結ぶ搬送の呼び方の組み合わせとして正しいものはどれか。
- Aフロントエンド搬送とバックエンド搬送
- Bインターベイ搬送とイントラベイ搬送
- Cウェット搬送とドライ搬送
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正解：B. インターベイ搬送とイントラベイ搬送
ベイ方式では、ストッカなどを経由して離れたベイどうしを結ぶインターベイ搬送と、ベイの中で装置どうしや装置とストッカを結ぶイントラベイ搬送を組み合わせてきました。近年の300 mm工場では、OHTが両方を一体的に担い、装置から装置へ直接運ぶ方式も広く使われています。
- A. 前工程・後工程の区分とは別の話です。
- B. 正しい。ベイ間がインターベイ、ベイ内がイントラベイです。
- C. 搬送の区分として、この呼び方は一般的ではありません。