200 mmウエハの時代に普及した、カセットを密閉したポッドに入れて装置に受け渡すミニエンバイロメントの方式はどれか。

正解：B. SMIF

SMIF(Standard Mechanical Interface)は、ウエハのカセットを密閉したポッドに入れて運び、装置の上でポッドの底を開けてカセットを装置内に取り込む方式です。ミニエンバイロメントの考え方を広め、300 mmのFOUPへと発展しました。