天井の一部から清浄な空気を吹き出し、室内の空気と混ぜて薄めながら清浄度を保つ方式のクリーンルームはどれか。清浄度は一方向流より低いが、設備費は安い。

正解：A. 非一方向流(乱流)方式

非一方向流方式は、天井の吹き出し口から清浄な空気を送り込み、室内の空気と混ぜて粒子を薄めながら排気します。風量が少なくて済み、設備費や運転費は安いものの、到達できる清浄度は一方向流方式より低く、ISOクラス6〜8程度の区域に使われます。

• A. 正しい。空気を混ぜて薄める方式です。
• B. ダウンフローは天井全面から床へ一方向に流す方式です。
• C. ミニエンバイロメントはウエハの周りの狭い空間だけを清浄にする考え方です。