ウエハの周りの狭い空間だけを高い清浄度に保つ考え方を何と呼ぶか。

正解：B. ミニエンバイロメント方式

ミニエンバイロメント方式では、FOUPや装置内部など、ウエハが触れる空間だけを極めて清浄に保ち、人が作業する空間の清浄度は少し緩めます。部屋全体を超高清浄にするボールルーム方式に比べ、建設費や運転費を抑えられます。