FZ法(フローティングゾーン法)란?
えふぜっとほう
多結晶シリコンの棒の一部を加熱して溶かし、その溶けた帯を移動させて単結晶にする方法。るつぼを使わないため酸素が少なく、高抵抗のウエハに向く。
일본어 명칭: FZ法(フローティングゾーン法)
분야: 실리콘 웨이퍼
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관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
えふぜっとほう
多結晶シリコンの棒の一部を加熱して溶かし、その溶けた帯を移動させて単結晶にする方法。るつぼを使わないため酸素が少なく、高抵抗のウエハに向く。
일본어 명칭: FZ法(フローティングゾーン法)
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング