偏析係数とは
へんせきけいすう
融液から結晶が固まるとき、結晶中と融液中の不純物濃度の比。多くの不純物は1より小さいため融液に濃縮され、CZ結晶の後半ほど不純物濃度が高くなる。
この用語の分野: シリコンウエハ
解説の中の「偏析係数」
ホウ素は偏析係数が約0.8と1に近く、インゴットの上下で濃度が比較的そろうため扱いやすい不純物です。
CZ法でp型のシリコン結晶をつくるとき、融液に添加する代表的な不純物はどれか。
「偏析係数」が出てくる問題(1問)
関連する用語
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