シリコンウエハ
FZ法(フローティングゾーン法)で作製したシリコン単結晶の特徴として正しいものはどれか。
- A大口径化が最も容易で、300 mmウエハの主流の製法である
- B石英るつぼを使わないため酸素などの不純物が少なく、高抵抗の結晶を得やすい
- C多結晶シリコンを溶かさずに単結晶化する
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正解:B. 石英るつぼを使わないため酸素などの不純物が少なく、高抵抗の結晶を得やすい
FZ法は、多結晶シリコンの棒の一部を高周波加熱で帯状に溶かし、その溶融帯を移動させて単結晶化する方法です。るつぼを使わないため酸素の混入が少なく、高純度・高抵抗の結晶が得られることから、パワーデバイスなどに使われます。大口径化はCZ法の方が容易です。