フォーミングガスアニールとは
ふぉーみんぐがすあにーる
水素と窒素の混合ガス(フォーミングガス)中での熱処理。水素がSi/SiO2界面のダングリングボンドを終端し、界面準位を減らす。
この用語の分野: 酸化・拡散
解説の中の「フォーミングガスアニール」
水素は、エピタキシャル成長の原料を運ぶキャリアガスや、表面の自然酸化膜を除去する還元性の雰囲気、フォーミングガスアニールなどに使われます。
エピタキシャル成長や熱処理で、キャリアガスや還元性の雰囲気として使われるガスはどれか。
「フォーミングガスアニール」が出てくる問題(1問)
関連する用語
エピタキシャル成長 自然酸化膜 RTP(急速熱処理) ウェット酸化 STI(シャロートレンチ分離) 界面準位 可動イオン 酸化増速拡散(OED) 酸窒化膜(SiON) Deal-Groveモデル