フォーミングガスアニール란?
ふぉーみんぐがすあにーる
水素と窒素の混合ガス(フォーミングガス)中での熱処理。水素がSi/SiO2界面のダングリングボンドを終端し、界面準位を減らす。
일본어 명칭: フォーミングガスアニール
분야: 산화와 확산
관련 용어
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離)
ふぉーみんぐがすあにーる
水素と窒素の混合ガス(フォーミングガス)中での熱処理。水素がSi/SiO2界面のダングリングボンドを終端し、界面準位を減らす。
일본어 명칭: フォーミングガスアニール
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離)