大電流のイオン注入中にウエハを冷却する主な理由はどれか。

正解：B. ビームのエネルギーでウエハの温度が上がり、マスクのレジストが変質したり、注入の状態が変わったりするのを防ぐため

大電流の注入では、ビームのエネルギーがウエハに入って温度が上がります。レジストが変形・変質すると、マスクの寸法が変わったり除去が難しくなったりします。また温度によって結晶の損傷の回復の度合い(アモルファス化のしやすさ)も変わるため、ウエハを冷却して温度を管理します。

• A. 冷却で注入の深さを深くするわけではありません。
• B. 正しい。温度上昇によるレジストの変質などを防ぎます。
• C. イオンの質量は冷却で変わりません。